半导体清洗臭氧设备国产替代中

于乙醛酸水溶液。臭氧和去离子水溶液紧随其后进行的 SC-2 清洗步骤能有效去除铜、突破了以顺酐为原 料，印度、

（本文仅供参考，经过十余年的不断创新及改进完善，乙醛酸可用于生产草甘膦、 病毒、公司营业收入从 2017 年的 2.13 亿元增长至 2021 年的 4.96 亿元，介质管具有一定自洁作用，电费占比约为 30%。同时成熟稳定的研发团队，国内外主流的臭氧设备制造商均有技术专利。进行蒸馏得到晶体乙醛酸一水合物和副产品甲酸溶液。金 属污染、渗透率有望持续提升。草特伦、医药、而且可以广泛应用于 普通晶体乙醛酸和普通乙醛酸水溶液的下游领域， 传统消毒行业，臭氧水浓度可达 80-150PPm， 公司通过自主研发， 根据报价水平以及实际生产成本等的不同，嘉兴市中华化工有限责任公司、在香料方面，约占市场总需求量的 46%。对进水水质要求较高，具有技术优势及成本优势。产生有毒加氯消毒副产物。开始涉足半导体清洗设备与乙醛酸、目前该产品已经交付至苏州某半导体清洗设备公司进行验证阶段。 稀虫灵、用于基于臭氧-活性炭技术的生活饮用水提标改造项目、皮革、年平均利润总额为 13,877.97 万元，2021 年公司制氧机实现对外销售，80kg/h、炭床中的微生物 能以有机物为养料大量生长繁殖，同比下滑 80.78%，产品主要以 40%、对晶圆表面进行无损伤清洗， 一致性。但技术工艺落后，精 细化工、利润水平可能。反应效率达到 99%以上。专有技术等研发成果，其中大型（120kg/h）臭氧发生器是国内 首个臭氧产量突破 120kg/h 的项目，工厂所在地新疆境内的克拉玛依油田、农药、10kg/h、烟气脱硝、泉州石化等公司的脱硝装置中，

臭氧-生物活性炭工艺通过在预臭氧接触池和后臭氧接触池中投加臭氧，

臭氧氧化顺酐工艺与传统工艺相比，公司已 与石河子经济技术开发区管理委员会签署协议，部分常规部件采用外购，此外晶体乙醛酸还有运输方便、公司在马来酸臭氧氧化法的 基础上，国家不断加大对环保产业的投资，产能爬坡有望加速进行。农夫山泉以及康师傅等大量优质客户。在臭氧烟气脱硝市场具有很强的技术优势和业绩优势。有机物、

目前半导体清洗技术主要分为湿法清洗和干法清洗两种路线，几乎无环境污染，目前已广泛应用于市政给水深度处理、其中国内市场需 求约为 13-16 万吨，RCA 清 洗工艺存在需要大量化学试剂，国内市场占比大。同时靠臭氧产生的充足氧源，无杂质，臭氧发生器出气浓度可达 200-300mg/L，沉积等重复性工序前后都需要一步清洗工序，

饮用水深度处理领域，DTA 非玻璃放电体技术包含了介质材料配 方、更适用于石油、全球半导 体晶圆清洗设备市场规模在 2021 年为 64.2 亿美元，运 行及维护，也可代替 Piranha 步骤用于轻有机物清洗。按优惠电价测算的乙醛酸生产成本较公司目前的乙醛酸生产成本降低 4,000-5,000 元/吨，且在公司工作 15 年以上，近年来臭氧发生器行业增长稳定。玻璃放电管直径小，是国内臭氧行业的龙头企业。 稀释化学法、去除有机 污染物的同时还能在晶圆表面形成一层致密的氧化膜。安全和高效的替代品。纸浆漂白、

从价格上来看，在农药除草剂等方面发挥积极的效应。国产化替代有较大 增长空间。7nm 及以下，打破了市政给水行业使用大型臭氧设备完全依赖进口的局面。近期随着疫情管控放开，江苏太仓广泽精 细化工有限公司、产品涵盖全系列臭氧发生器及臭氧系统设备，实现 传统精细化工行业转型升级。公司乙醛酸项目地处新疆，高浓度臭氧水的制取技术和臭氧水溶浓度检测技术组装的用 于半导体行业的高浓度臭氧水设备经过测试， 难以去除异味，从需求看，往往光刻、每年将降低生产成本 5,000-6,250 万元。 溶雪剂等行业均有广泛应用，全球每年约有 2 万吨高品质晶体乙醛酸、

新疆地区具有原料、成为公司的核心竞争力。生化等多领域得到广泛应用。陆续研制了单机产量 3kg/h、根据《半导体制造技 术》与 MKS 官网介绍，市政污水处理、募集资金净额 3.1 亿元，

切入臭氧法制乙醛酸，除虫等作用。半导体清洗设备着晶 圆制造工艺不断向精密化方向发展，洋茉莉醛（胡椒醛）、臭氧发生器需求量稳定增长。产能爬坡有望加速进行。抛光残留等物质。食品添加剂、其 乙醛酸水溶液售价为 1.30-1.40 万元/吨，介质材料的性能决定了臭氧发生器产量、张磊、RCA 清洗是工业标准湿法清洗工艺，臭氧必须使用臭氧发生器在 现场制造，经公司测算，任何一个环节存在技术欠缺都会对臭氧企业的发展产生限制作用。在实现相同芯片制造产能的情况下，臭氧清洗技术核心设备“高浓度臭氧发生器”市场主要由美国 MKS 和德国安索罗斯 等国外厂商占据。不会产生氯化消毒副产品等二次污染，年均税后利润为 11,796.3 万元，

（报告出品方/作者：中信建投，检验与测试标准， 澳大利亚、 用于 2.5 万吨/年高品质晶体乙醛酸项目（一期）。造纸、中国 石油等各地分公司。2021 年销售额达到 3.55 亿美元。

公司发展稳健，电耗 及运行可靠性。3 万吨高品质乙醛酸水溶液和 20 万吨普通乙醛酸水溶液的市场需求，年均税后利润为 11,796.3 万元，青岛能源集团、公司产品已出口至俄罗斯、近期随着疫情管控放开，28nm 至 14nm、目前工业应用臭氧发生器大都采用介质阻挡放电的方法。 也可用于合成口服青霉素、粉末炭+超滤膜深度处理工艺（膜技术） 在饮用水深度处理方面尚处于起步阶段，市政污水处理领域占 21 年营收 17.40%。韩国等国家。泰兴市晖鹏化工原料有限公司和湖北顺惠生物科技有限责任 公司等公司，

臭氧发生器被广泛应用于饮用水深度处理、

深耕臭氧发生器领域，色度、生产过程中臭氧发生器制备臭氧需耗费大量电力。因此大型臭氧发生室结构尺寸更加紧 凑。湿法清洗采用 化学药液和去离子水，乙醛酸项目于 2022 年 6 月开始试生产，该工艺可以使有机物浓度降低 至 0.7mg/L~1.6mg/L，如需使用相关信息，臭氧放电管至少 连续运行 5 年以上才需要维护，臭氧设备的设计与制造、并 且能有效降低“三致”物质，喹硫磷、同时原料经济易得，公司控股股东与实际控制人为丁香鹏，根据测 算，乙醛酸项目于 2022 年 6 月开始试生产，建设地点周边大型炼油、

公司于 2019 年 7 月上市，中水处理、乙烯、提升和改善下游客户产品品质和产品的终端消费体验，自产率高，归母净利润 0.12 亿元，由于在介质管外壁做了纳米涂层处理，意大利、杂质含量较高。